信息来源: 时间:2022-7-22
和第2章中所说明的一样,当VGB比VFB足够低时,p型衬底中(这里空穴丰富)的空穴立即在氧化层下积累起来,并在那里形成一层很薄的高导电层。支持这些空穴所需的表面势是负的,但其值很小,因为空穴层是如此之薄(这一点可用附录H中的一般分析来证明)。因此在电势平衡方程(2.3.1)中,ψs可忽略,从而导致氧化层电势ψox=VGB-ΦMS;这样,单位面积的栅电苞Q´G=C´oxψox。便可知道,再把它乘以栅面积可得
体内的空大电荷记作Qc,现在Qc可以从电荷平衡方程QG+Qc+Qo=0[见式(2.3.3)]求出,因此有
在文献中,式(7.4.48)中的Qo有时被忽略。在这样一些情况下,相应的QG式中采用VFB,而不是如式(7.4.47)那样采用正确的中ΦMS。
若VGB非常会近VFB,则式(7.4.47)的精度有些下降,这是因为此时积累并不严重,因而上面所用的论述不能真正成立的缘故,当精度要求特别高时,可采用附录H中的分析方法。
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