门阵列布线方法-伪双层布线和双层布线两种分析

前面已说明，有伪双层布线和双层布线两种。图6.8画出行间通道中伪双层布线的局部情况。垂直方向是预工艺完成的导电多晶线及接触孔；水平方向是金属布线，一般用铝硅合金或纯铝。多晶硅线两端的接触孔可以向单元内部进行连线，中间的接触孔可以与通道内的金属布线相连。

门阵列布线方法

门阵列的布线一般分成两级。低一级是单元行内部连线，组成一些基本逻辑单元电路，如图6.6上用一个单元内连成2NAND。高一级布线是各逻辑单元之间的连线，一般通过单元行间的间隙通道内的布线来实现。

图6.9是采用双层布线的局部实例。垂直方向上的虚线表示第一层布线；水平方向上的实线表示第二层布线。

门阵列布线方法

联系方式：邹先生

联系电话：0755-83888366-8022

手机：18123972950

QQ：2880195519

联系地址：深圳市福田区车公庙天安数码城天吉大厦CD座5C1

请搜微信公众号:“KIA半导体”或扫一扫下图“关注”官方微信公众号

请“关注”官方微信公众号:提供 MOS管技术帮助