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热载流子效应器件尺寸和电压的限制分析
信息来源： 时间：2022-3-9
热载流子效应器件尺寸和电压的限制分析
为了保证Em<Eo，沟道长度L必定有下限，电源电压必定有上限。
由（2.8）式可得：
其中
。
（2.9）式中的
代入上式，并考虑在最坏情况，VG=VD使Ig达到Igmax，由此可得：
图2.11为用上式计算不同tox下的VDmax与Leff的关系以及按Ig≈10-15ID。的实测结果。两者符合较好。Leff越小，tos越小则VDmax越小，即额定的最高电源电压不能高。例如，Leff=1μm,tos=20nm，由图2.11得？VDmax≈4V。如果在这种情况卡采用5V电源，那末必须在工艺结构上采取必要的改进措施，减弱热电子效应。
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